中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种硅湿法腐蚀制作多级微反射镜的方法 (发明)
	梁静秋; 梁中翥; 禹秉熙
	2010-10-27
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2010-10-27
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种硅湿法腐蚀制作多级微反射镜的方法，包括如下步骤：选择上表面与（１１１）面偏一定角度的硅片作为多级微反射镜材料，并对其上表面进行抛光；在硅片表面生长一层掩蔽材料；在硅片上表面形成条状掩蔽薄膜图形；对未被掩蔽薄膜覆盖的表面进行各项异性腐蚀得到阶梯状结构；在阶梯状结构的表面镀增反膜，得到多级微反射镜。本发明由于……
资助项目	101290362B
申请号	200810050786.2
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11208
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梁静秋,梁中翥,禹秉熙. 一种硅湿法腐蚀制作多级微反射镜的方法 (发明)[P]. 2010-10-27.

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文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN200810129036200000（238KB）			开放获取	--	浏览 请求全文

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