中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	激光调阻机自动换片机构 (发明)
	刘立峰; 孙继凤; 张德龙; 汤建华; 吴玉斌
	2011-08-17
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2011-08-17
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及用于加工电阻基板的激光调阻机，特别涉及一种激光调阻机自动换片机构，包括通过两个升降气缸分别设置在沿机架上部水平导轨滑动的滑块上的两个机械手和设置在机台上的光刻平台，所述的两个机械手通过两个运动方向垂直于所述滑块运动方向的平推气缸分别连接在所述的两个升降气缸的活塞下端上；所述的光刻平台通过一运动方向与所述滑块运……
资助项目	101710510B
申请号	200910217809.9
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11665
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘立峰,孙继凤,张德龙,等. 激光调阻机自动换片机构 (发明)[P]. 2011-08-17.

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CN201010171051000000（216KB）			开放获取	--	浏览 下载

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