Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 泰曼_格林型静态便携式干涉仪的设计 | |
| 马军; 何煦; 居波 | |
| 2008-12-07 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 12 |
| 摘要 | 基于经典泰曼-格林干涉理论提出了一种改进的干涉仪光路设计方案。与经典干涉理论对比,该方案具有共光路、结构紧凑、对环境因素不敏感、系统使用效率高等特点。通过对光学系统及标准平面的优化设计,其理论精度极值(PV)<1/12λ(λ=632.8nm)。对具体的光学系统、微调机构组件进行了三维设计,对干涉仪进行了实际装配调整,并与Mo¨ller像移式干涉仪做了比对测试实验,结果表明,该小型干涉仪的实际测量精度PV值<1/10λ。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23122 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马军,何煦,居波. 泰曼_格林型静态便携式干涉仪的设计[J]. 光学精密工程,2008(12). |
| APA | 马军,何煦,&居波.(2008).泰曼_格林型静态便携式干涉仪的设计.光学精密工程(12). |
| MLA | 马军,et al."泰曼_格林型静态便携式干涉仪的设计".光学精密工程 .12(2008). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 泰曼_格林型静态便携式干涉仪的设计.ca（372KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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