Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微摩擦测试仪力传感器的研究 | |
黎海文; 贾宏光; 吴一辉 ; 李锋
| |
| 2002-08-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 04页码:388-391 |
| 关键词 | Mems 微摩擦测试 力传感器 结构设计 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28671 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黎海文,贾宏光,吴一辉,等. 微摩擦测试仪力传感器的研究[J]. 光学精密工程,2002(04):388-391. |
| APA | 黎海文,贾宏光,吴一辉,&李锋.(2002).微摩擦测试仪力传感器的研究.光学精密工程(04),388-391. |
| MLA | 黎海文,et al."微摩擦测试仪力传感器的研究".光学精密工程 .04(2002):388-391. |
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