Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 月基极紫外相机多层膜反射镜 | |
刘震 ; 高劲松; 陈波; 王彤彤; 王笑夷; 申振峰; 陈红
| |
| 2013-01-15 | |
| 发表期刊 | 光谱学与光谱分析 (IF:0.452[JCR-2019],0.401[5-Year]) |
| 期号 | 01页码:283-286 |
| 摘要 | 月基极紫外相机用于月球表面对地球等离子体层辐射出的30.4nm谱线进行成像观测,多层膜反射镜是月基极紫外相机的重要光学元件。根据月基极紫外相机技术参数,选择了B4C/Mg,B4C/Mg2Si,B4C/Al,B4C/Si,Mo/Si等材料,对其周期厚度、材料比例、周期数等参数进行优化。计算了以上材料组合在30.4nm的反射率曲线。考虑到月球环境的特殊性和材料的物理化学性质,从中选择出Mo/Si和B4C/Si两种组合,利用磁控溅射进行镀制。Mo/Si和B4C/Si多层膜在30.4nm反射率分别达到15.3%和22.8%。 |
| 关键词 | 极紫外 多层膜反射镜 磁控溅射 反射率 等离子体层 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38813 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘震,高劲松,陈波,等. 月基极紫外相机多层膜反射镜[J]. 光谱学与光谱分析,2013(01):283-286. |
| APA | 刘震.,高劲松.,陈波.,王彤彤.,王笑夷.,...&陈红.(2013).月基极紫外相机多层膜反射镜.光谱学与光谱分析(01),283-286. |
| MLA | 刘震,et al."月基极紫外相机多层膜反射镜".光谱学与光谱分析 .01(2013):283-286. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 月基极紫外相机多层膜反射镜.caj（497KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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