Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文） | |
苏东奇 ; 田伟; 苗二龙; 隋永新; 杨怀江
| |
| 2015 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 期号 | 11页码:95-99 |
| 摘要 | 为了实现高精度平面面形绝对检测,对传统的立式三平板绝对检测方法进行了重力变形补偿.通过有限元软件仿真了平板在水平放置于工装上的重力变形,并将其加入到平面绝对标定的计算中.把平面标定分成旋转对称项和旋转非对称项分别标定后进行综合,并与旋转平移绝对检测方法的测量结果进行了对比,去除离焦项对比结果均方根小于1nm.为了进一步验证离焦项的标定,对一平板在不同口径环形支撑下的形变量进行了检测和仿真,对比结果的峰谷值小于9nm,达到较高的离焦项测量精度.实验结果验证了基于重力变形补偿的立式三平板绝对检测方法能够实现立式下平面的高精度绝对检测. |
| 关键词 | 光学检测 绝对检测 干涉术 重力变形 有限元方法 计算仿真 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53870 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苏东奇,田伟,苗二龙,等. 基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文）[J]. 光子学报,2015(11):95-99. |
| APA | 苏东奇,田伟,苗二龙,隋永新,&杨怀江.(2015).基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文）.光子学报(11),95-99. |
| MLA | 苏东奇,et al."基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文）".光子学报 .11(2015):95-99. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文）（941KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 请求全文 | |
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [苏东奇]的文章 |
| [田伟]的文章 |
| [苗二龙]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [苏东奇]的文章 |
| [田伟]的文章 |
| [苗二龙]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [苏东奇]的文章 |
| [田伟]的文章 |
| [苗二龙]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论