| 柱式平板声子晶体点缺陷模式研究 |
| 黄翔宇; 刘永顺 ; 舒风风; 武俊峰; 吴一辉
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| 2017-04-15
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| 发表期刊 | 压电与声光
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| 页码 | 198-201 |
| 摘要 | 柱式平板声子晶体结构有利于实现质量加载和液相检测,该文提出并制备一种柱式平板声子晶体点缺陷。采用有限元法进行禁带计算分析,仿真出该声子晶体点缺陷模式的振型。采用微机电系统(MEMS)工艺制备出硅基AlN声波传感器,通过电极构型的模式选择对选定点缺陷模式的性能进行了测试分析。结果表明,通过合理设计激励电极可获得较高频率声子晶体点缺陷模式。实验中选择激发的模式频率为7.732 MHz,其对应空气中品质因数Q=700,这为实现液相检测提供了理论基础和实验依据。 |
| 关键词 | 声子晶体
柱式平板
点缺陷
选择性激励
工艺加工
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| DOI | C7DBEBF65D3B769588AD164BABCAE9FA
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| 语种 | 中文
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| 引用统计 | 正在获取...
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58417
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| 专题 | 中科院长春光机所知识产出
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
黄翔宇,刘永顺,舒风风,等. 柱式平板声子晶体点缺陷模式研究[J]. 压电与声光,2017:198-201.
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| APA |
黄翔宇,刘永顺,舒风风,武俊峰,&吴一辉.(2017).柱式平板声子晶体点缺陷模式研究.压电与声光,198-201.
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| MLA |
黄翔宇,et al."柱式平板声子晶体点缺陷模式研究".压电与声光 (2017):198-201.
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文件名：
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柱式平板声子晶体点缺陷模式研究.caj
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格式：
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caj
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