Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响 | |
| 丛敏; 齐向东; 糜小涛; 于海利; 李晓天; 卢禹先 | |
| 2017-12-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 页码 | 3027-3033 |
| 摘要 | 设计了一种基于干涉检验法的复制拼接光栅测量光路。针对光栅复制拼接光路中入射光角度难以精确测量的问题,分析了光栅拼接实验中入射光角度对光栅拼接的影响。建立了光栅拼接误差模型,分析了五维拼接误差的容限要求。按照光栅复制拼接光路的要求,设计了一种干涉仪角度调节装置。根据误差模型和拼接光路分析了500mm×500mm大尺寸中阶梯光栅复制拼接光路中入射光角度误差与拼接误差的关系。结果显示:入射光角度误差为1°,拼接光路中绕x轴,y轴的转动误差Δθx,Δθy和沿z轴的位移误差Δz的计算值与实际值之间分别相差0.002 1μrad,0.003 3μrad和0.348 2nm时,引起波前差为2.590 1nm。根据这一计算结果,给出了干涉仪角度调节装置的设计指标,即设置角度调节分度为0.1°时,可满足大尺寸光栅复制拼接要求。 |
| 关键词 | 光栅拼接 光栅复制 拼接误差 误差分析 |
| DOI | BFAD6175F048C1A0B55571EBA4C2BD58 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58551 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丛敏,齐向东,糜小涛,等. 光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响[J]. 光学精密工程,2017:3027-3033. |
| APA | 丛敏,齐向东,糜小涛,于海利,李晓天,&卢禹先.(2017).光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响.光学精密工程,3027-3033. |
| MLA | 丛敏,et al."光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响".光学精密工程 (2017):3027-3033. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的（297KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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