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我国准分子激光技术发展现状及趋势研究 期刊论文
中国工程科学, 2020, 卷号: 22, 期号: 03, 页码: 29-34
作者:  范元媛;  周翊;  郭馨;  王倩;  金春水;  楼祺洪
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激光器  准分子激光技术  材料加工  
用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 22-27
作者:  邓文渊;  金春水;  靳京城
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激光器  Arf准分子激光器  Caf2衬底  激光量热吸收  表面粗糙度  光谱术  
用金属诱导准分子激光晶化法制备多晶硅薄膜 期刊论文
液晶与显示, 2005, 期号: 02, 页码: 128-132
作者:  廖燕平;  邵喜斌;  吴渊;  骆文生;  付国柱;  荆海;  马凯
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多晶硅薄膜  金属诱导准分子激光晶化  Nisi2  
准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备 期刊论文
液晶与显示, 2001, 期号: 03, 页码: 170-175
作者:  邱法斌;  骆文生;  张玉;  刘传珍;  荆海;  黄锡珉
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多晶硅膜  准分子激光烧结  玻璃衬底  制备  
准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 05, 页码: 63-66
作者:  梁静秋;  姚劲松
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准分子激光  直接刻蚀  微机械零件