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计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 03, 页码: 40-43
作者:  陈赟;  李艳茹;  张红胜
caj(474Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：454/99  |  提交时间：2013/03/11
计量圆光栅  制作工艺  刻划精度  均匀性