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| 扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者: 王玮; 姜珊; 宋莹; 巴音贺希格
 caj(4189Kb) |  收藏 | 浏览/下载：464/186 | 提交时间：2018/04/09
光栅 扫描干涉场曝光系统 高斯光束 光斑尺寸 光路设计 |
| 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者: 王玮; 巴音贺希格; 潘明忠; 宋莹; 李文昊
 caj(798Kb) | 收藏 | 浏览/下载：397/143 | 提交时间：2018/04/09
光学设计 光栅 扫描干涉场曝光 光束对准 曝光对比度 位置解耦 角度解耦 |
| 扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者: 王玮; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊; 潘明忠
caj(1764Kb) | 收藏 | 浏览/下载：360/132 | 提交时间：2017/09/17
光栅 扫描干涉场曝光系统 光束对准 收敛性能 装调误差 |
| 扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者: 姜珊; 巴音贺希格; 潘明忠; 李文昊; 宋莹
caj(3588Kb) | 收藏 | 浏览/下载：305/128 | 提交时间：2016/07/06
光栅 扫描干涉场曝光系统 干涉条纹周期测量 相位锁定 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
Adobe PDF(5623Kb) | 收藏 | 浏览/下载：621/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
| 扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者: 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠
caj(447Kb) | 收藏 | 浏览/下载：436/131 | 提交时间：2015/04/17
光栅 扫描干涉场曝光系统 相位锁定 光栅周期 刻线误差 |
