×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
登录
中文版
|
English
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
登录
注册
ALL
ORCID
题名
作者
学科领域
关键词
资助项目
文献类型
出处
收录类别
出版者
发表日期
存缴日期
学科门类
学习讨论厅
图片搜索
粘贴图片网址
首页
研究单元&专题
作者
文献类型
学科分类
知识图谱
新闻&公告
在结果中检索
研究单元&专题
中科院长春光机所知... [14]
作者
邓文渊 [1]
金春水 [1]
李春 [1]
喻波 [1]
姚舜 [1]
文献类型
期刊论文 [14]
学位论文 [1]
发表日期
2020 [1]
2017 [1]
2016 [2]
2015 [1]
2014 [5]
2013 [2]
更多...
语种
中文 [10]
出处
光学学报 [7]
中国激光 [3]
中国光学 [1]
光学精密工程 [1]
物理学报 [1]
科学技术与工程 [1]
更多...
资助项目
收录类别
CNKI [2]
资助机构
×
知识图谱
CIOMP OpenIR
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共15条,第1-10条
帮助
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
期刊影响因子升序
期刊影响因子降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
浏览
|
Adobe PDF(2105Kb)
|
收藏
|
浏览/下载:391/84
|
提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响
期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:
王依
;
卢启鹏
;
高云国
caj(173Kb)
|
收藏
|
浏览/下载:399/144
|
提交时间:2018/04/09
薄膜
极紫外光刻
碳污染
清洗技术
反射率
应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展
期刊论文
科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127
作者:
鹿国庆
;
吴义恒
;
李伶俐
;
卢启鹏
caj(280Kb)
|
收藏
|
浏览/下载:395/176
|
提交时间:2017/09/17
极紫外光刻
光刻胶
平衡关系
材料设计
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
;
王春忠
收藏
|
浏览/下载:271/0
|
提交时间:2017/09/17
薄膜
极紫外光刻
宽带多层膜
Mo/si多层膜
极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:
王君
;
王丽萍
;
金春水
;
苗亮
;
谢耀
caj(1576Kb)
|
收藏
|
浏览/下载:431/128
|
提交时间:2016/07/06
光学设计
极紫外光刻
可视化界面
初始结构
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:
代晓珂
;
金春水
;
王丽萍
;
于杰
caj(1171Kb)
|
收藏
|
浏览/下载:418/132
|
提交时间:2015/04/17
光学设计
极紫外光刻
光纤点衍射
球面参考源
偏振控制
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究
学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:
代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)
|
收藏
|
浏览/下载:285/2
|
提交时间:2015/05/03
光学检测
极紫外光刻
波面参考源
偏振控制
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:
王君
;
金春水
;
王丽萍
;
郭本银
;
喻波
caj(491Kb)
|
收藏
|
浏览/下载:568/205
|
提交时间:2015/04/17
成像系统
光学设计
极紫外光刻
等效工作界面
多层膜
能量守恒
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:
王珣
;
金春水
;
匡尚奇
;
喻波
;
金方圆
caj(351Kb)
|
收藏
|
浏览/下载:499/131
|
提交时间:2015/04/17
薄膜
极紫外光刻
碳沉积模型
迭代法
极紫外光学器件辐照污染检测技术
期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者:
王珣
;
金春水
;
匡尚奇
;
喻波
caj(413Kb)
|
收藏
|
浏览/下载:499/174
|
提交时间:2015/04/17
极紫外光刻
碳污染检测
光纤椭偏仪
首页
上一页
1
2
下一页
末页