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极紫外光学器件辐照污染检测技术 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 79-88
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：549/179  |  提交时间：2015/04/17
极紫外光刻  碳污染检测  光纤椭偏仪  
光栅参数测量技术研究进展 期刊论文
中国光学, 2011, 期号: 02, 页码: 103-110
作者:  刘洪兴;  张巍;  巩岩
caj(428Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：486/142  |  提交时间：2013/03/11
光栅  光栅参数测量  原子力显微镜  扫描电子显微镜  激光衍射仪  椭偏仪  
摩擦取向膜表面液晶薄层厚度的研究 期刊论文
真空科学与技术, 2003, 期号: 06, 页码: 12-14
作者:  于涛;  彭增辉;  乌日娜;  张力;  阮圣平;  宣丽
caj(41Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：539/141  |  提交时间：2013/03/11
液晶  薄层厚度  椭偏仪  取向膜  摩擦强度