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| 用于高集成光谱技术的多层楔形薄膜滤光片研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 唐昊龙
 caj(6547Kb) |  收藏 | 浏览/下载：168/0 | 提交时间：2020/08/24
光学薄膜 高集成光谱探测 楔形薄膜 膜系设计 离子束溅射 |
| 高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 沈晨
caj(7770Kb) | 收藏 | 浏览/下载：296/0 | 提交时间：2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机 三维工作台 凸面光栅 摆动刻蚀 硅改性RB-SiC |
| 大口径非球面系统的共基准加工与检验 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 04, 页码: 743-748
作者: 王孝坤 ; 薛栋林; 张学军
收藏 | 浏览/下载：240/0 | 提交时间：2019/09/17
光学加工 光学检测 非球面 三镜消像散系统 共基准 离子束加工 |
| 利用功率谱密度评价离子束抛光光学元件表面粗糙度 期刊论文
光学技术, 2017, 页码: 208-211
作者: 岳巾英; 王泰升; 李素文
 caj(699Kb) | 收藏 | 浏览/下载：479/148 | 提交时间：2018/04/09
功率谱密度(Psd) 表面粗糙度(Ra) 离子束抛光 |
| 离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者: 才玺坤; 张立超; 时光; 贺健康; 武潇野; 梅林
caj(317Kb) | 收藏 | 浏览/下载：450/179 | 提交时间：2017/09/17
离子束溅射 应力 光学特性 膜厚均匀性 |
| 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者: 张春雷; 徐乐; 刘健; 马占龙; 王飞; 谷永强; 代雷; 彭石军
caj(596Kb) | 收藏 | 浏览/下载：535/167 | 提交时间：2017/09/17
氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(Ibf) |
| 离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者: 贺健康; 张立超; 才玺坤; 时光; 武潇野; 梅林
caj(320Kb) | 收藏 | 浏览/下载：401/133 | 提交时间：2017/09/17
离子束溅射 光学薄膜 沉积速率 二维拟合 膜厚均匀性 |
| 应用离子束修正高精度CGH基底 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 2, 页码: 270-276
作者: 马占龙; 彭利荣; 王高文; 谷勇强
caj(377Kb) | 收藏 | 浏览/下载：387/106 | 提交时间：2017/09/17
光学制造 离子束 计算全息图 透射波前 |
| 超薄光学元件精密加工关键技术 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 06, 页码: 964-970
作者: 彭利荣; 马占龙; 王高文; 王飞; 王东方
caj(1987Kb) | 收藏 | 浏览/下载：407/122 | 提交时间：2016/07/06
超薄镜 精密铣磨 精密抛光 离子束精修 误差补偿 |
| 宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1978-1983
作者: 吴娜; 谭鑫; 于海利; 张方程
caj(393Kb) | 收藏 | 浏览/下载：786/197 | 提交时间：2016/07/06
全息光栅 宽波段光栅 离子束刻蚀 刻蚀模拟 |
