中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福
caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：485/155  |  提交时间：2018/04/09
光刻物镜  调节机构  狭缝柔性结构  刚度比  导向精度  
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑;  张建国
caj(2036Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：879/184  |  提交时间：2018/04/09
集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学  
狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  董世则
收藏  |  浏览/下载：340/0  |  提交时间：2017/09/17
狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试  
哈特曼探测器的高精度调节机构 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 10, 页码: 2852-2859
作者:  李文杰;  穆全全;  王少鑫;  王海萍;  杨程亮;  曹召良;  宣丽
caj(443Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：400/127  |  提交时间：2016/07/06
哈特曼探测器  调节机构  曲柄滑块机构  直线驱动器  自准直仪  
光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56
作者:  陈华男;  郭抗;  张玲花;  刘健;  尚红波
caj(1453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：388/115  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  X-y向柔性调节机构  减速机构  柔性铰链  
光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39
作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振
caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：350/107  |  提交时间：2016/07/06
耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法  
调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298
作者:  张德福;  李显凌
caj(743Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：797/124  |  提交时间：2015/04/17
光学器件  深紫外光刻  投影物镜  像差补偿  偏心调节机构  调节力  面形  
6-PSS型光学元件精密轴向调节机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 10, 页码: 2648-2655
作者:  郭抗;  巩岩
caj(587Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：860/117  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  光学元件  调节机构  并联机构  一体化结构  6-pss