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微电子机械系统中的压电薄膜微马达 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 04, 页码: 1-6
作者:  崔天宏;  王立鼎;  吕琼莹;  马建旭;  梁静秋
caj(229Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：424/66  |  提交时间：2013/03/11
压电薄膜微马达  广义瑞利波  Ic工艺  微型机械