Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响 | |
秦富林; 张尧禹; 蔡盛; 乔彦峰 | |
2009-12-15 | |
发表期刊 | 中国光学与应用光学
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ISSN | 1674-2915 |
期号 | 6 |
摘要 | 为了提高用莫尔条纹法测量扭转角的测量精度,分析了光栅周期不一致对扭转角测量误差的影响。从基于莫尔条纹法测量扭转角的原理出发,论述了光栅周期不一致与测量精度的关系,讨论了引起两光栅周期不一致的两个因素,即光栅刻划误差以及两光栅栅面不平行。理论分析表明,前者是引起光栅周期不一致的主要原因。当两光栅等效周期比值β<1.001时,在±15′的测量范围内,选择光栅周期为50μm,莫尔条纹宽度为1400~1800μm时,光栅周期不一致引起的测量误差可以控制在1.6″之内。 |
关键词 | 光栅周期不一致 莫尔条纹法 扭转角测量 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21891 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦富林,张尧禹,蔡盛,等. 光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响[J]. 中国光学与应用光学,2009(6). |
APA | 秦富林,张尧禹,蔡盛,&乔彦峰.(2009).光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响.中国光学与应用光学(6). |
MLA | 秦富林,et al."光栅周期不一致对莫尔条纹法测量扭转角的影响".中国光学与应用光学 .6(2009). |
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