Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法 | |
林强; 金春水 ; 向鹏; 曹健林
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| 2003-04-25 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 02页码:144-150 |
| 关键词 | 极紫外投影光刻 光学系统装调 奇异值分解 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28637 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林强,金春水,向鹏,等. 离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法[J]. 光学精密工程,2003(02):144-150. |
| APA | 林强,金春水,向鹏,&曹健林.(2003).离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法.光学精密工程(02),144-150. |
| MLA | 林强,et al."离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法".光学精密工程 .02(2003):144-150. |
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