| QF1基底上可见光区宽带增透膜研究 |
| 朱华新; 刘桂林; 高劲松 ; 王彤彤; 李帅; 严慧敏; 郭颖; 李果华
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| 2013-06-15
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| 发表期刊 | 人工晶体学报
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| 期号 | 06页码:1104-1108 |
| 摘要 | 本文以QF1为基底设计了一种宽带可见光区增透膜,即:增透波长0.4～0.8μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明平均透过率达98.43%,通过SEM的膜层截面证实膜层比设计略偏厚,导致测试透过率与设计相比略有红移,但实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。 |
| 关键词 | 光学薄膜
电子束蒸发物理气相沉积
透过率
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| 收录类别 | CNKI
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| 语种 | 中文
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38425
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| 专题 | 中科院长春光机所知识产出
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
朱华新,刘桂林,高劲松,等. QF1基底上可见光区宽带增透膜研究[J]. 人工晶体学报,2013(06):1104-1108.
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| APA |
朱华新.,刘桂林.,高劲松.,王彤彤.,李帅.,...&李果华.(2013).QF1基底上可见光区宽带增透膜研究.人工晶体学报(06),1104-1108.
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| MLA |
朱华新,et al."QF1基底上可见光区宽带增透膜研究".人工晶体学报 .06(2013):1104-1108.
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文件名：
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QF1基底上可见光区宽带增透膜研究.caj
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格式：
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caj
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