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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知... [27]
作者
邓文渊 [1]
金春水 [1]
李春 [1]
喻波 [1]
姚舜 [1]
文献类型
期刊论文 [28]
发表日期
2020 [1]
2016 [2]
2015 [2]
2014 [2]
2013 [1]
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Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
;
李春
;
邓文渊
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Adobe PDF(2105Kb)
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浏览/下载:378/75
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提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
光子计数成像探测器电荷感应层Ge薄膜特性研究
期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4, 页码: 38-41
作者:
郑鑫
;
陈波
;
王孝东
;
张宏吉
;
李云鹏
;
于再超
caj(1170Kb)
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浏览/下载:391/133
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提交时间:2017/09/17
Ge薄膜
直流磁控溅射
Ar气通入量
沉积速率
电学性质
2m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 7, 页码: 1557-1563
作者:
刘震
;
高劲松
;
刘海
;
王笑夷
;
王彤彤
caj(893Kb)
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浏览/下载:633/130
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提交时间:2017/09/17
光学加工
磁控溅射
表面改性
Rb-sic
大口径
长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展
期刊论文
硅酸盐通报, 2015, 期号: 12, 页码: 3556
-
caj(74Kb)
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浏览/下载:336/114
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提交时间:2016/07/06
高精度控制
应用光学
光机所
遗传算法
控制精度
面形误差
国家重点实验室
分布控制
磁控溅射
投影物镜
极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418
作者:
王珣
;
金春水
;
李春
;
匡尚奇
caj(1793Kb)
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浏览/下载:347/127
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提交时间:2016/07/06
薄膜
极紫外保护层
直流反应磁控溅射
迟滞回线
用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜
期刊论文
光电子.激光, 2014, 期号: 7, 页码: 1298-1302
作者:
刘震
caj(533Kb)
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浏览/下载:318/75
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提交时间:2015/04/17
极紫外(Euv)
双波段多层膜
太阳望远镜
反射率
磁控溅射
Ge薄膜性能及其在光子计数成像探测器中的应用
期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1143-1149
作者:
李云鹏
;
郑鑫
;
张宏吉
;
王孝东
;
陈波
;
曹健林
caj(642Kb)
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浏览/下载:663/140
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提交时间:2015/04/17
光子计数成像
磁控溅射
非晶ge薄膜
电荷感应层
月基极紫外相机多层膜反射镜
期刊论文
光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 01, 页码: 283-286
作者:
刘震
;
高劲松
;
陈波
;
王彤彤
;
王笑夷
;
申振峰
;
陈红
caj(497Kb)
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浏览/下载:531/154
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提交时间:2014/03/07
极紫外
多层膜反射镜
磁控溅射
反射率
等离子体层
Cr/Ag纳米多层薄膜膜-基结合强度及摩擦学性能研究
期刊论文
摩擦学学报, 2012, 期号: 06, 页码: 544-549
作者:
胡明
;
张立平
;
高晓明
;
伏彦龙
;
杨军
;
翁立军
caj(478Kb)
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浏览/下载:590/140
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提交时间:2013/03/11
磁控溅射
Cr/ag纳米多层薄膜
膜-基结合强度
摩擦学性能
23.4nm软X射线多层膜反射镜研制
期刊论文
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者:
刘震
;
李旭
;
马月英
;
陈波
;
曹健林
caj(422Kb)
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浏览/下载:443/138
|
提交时间:2013/03/11
极紫外
多层膜反射镜
磁控溅射
X射线衍射仪
反射率计
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